与RCWA相比，标量衍射理论 （Scalar diffraction theory）是分析具有较大尺寸的衍射光学元件的另一种理论，将电磁场的矢量特征视为近似的标量场。 标量理论对于各种衍射元件是有效的，尤其在数学计算上效率高，特别是对于大于光波长的特征尺寸方法。