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2012-PZT-based-piezoelectric
- 基于PZT材料的压电谐振器综述，讲述PZT材料在MEMS谐振器中的应用及相关关键技术。对从事PZT器件研究的专业人士尤为有用。-Based on the the PZT the material piezoelectric resonator overview, tells the PZT material in MEMS resonators and related key technologies. Particularly useful for professionals engaged